Ada banyak metode preparasi untuk film tipis silikon amorf panel surya . Ini termasuk sputtering reaktif, PECVD, LPCVD, dll. Gas reaktan adalah siH4 yang diencerkan dengan H2. Substrat terutama kaca dan lembaran baja tahan karat, dan film silikon non-grade yang dibuat darinya dapat digunakan untuk mendapatkan sel sambungan tunggal dan sel surya tandem masing-masing melalui proses sel yang berbeda.

Sel surya silikon amorf memiliki potensi besar karena efisiensi konversinya yang tinggi, biaya rendah, dan ringan. Tetapi pada saat yang sama, karena stabilitasnya yang rendah, secara langsung mempengaruhi aplikasi praktisnya. Jika lebih lanjut dapat memecahkan masalah stabilitas dan meningkatkan tingkat konversi. Kemudian, sel surya silikon amorf tidak diragukan lagi merupakan salah satu produk pengembangan utama sel surya.

Sel surya film tipis multi-senyawa Untuk menemukan pengganti sel silikon monokristalin, orang telah mengembangkan sel surya dari bahan lain selain silikon polikristalin dan sel surya film tipis silikon amorf. Ini terutama termasuk senyawa golongan gallium arsenide III-V, kadmium sulfida, telurida kadmium, dan baterai film tipis tembaga indium selenida. Di antara baterai yang disebutkan di atas, meskipun efisiensi baterai film tipis kadmium telurida dan kadmium sulfida polikristalin lebih tinggi daripada sel surya film tipis silikon amorf, biayanya lebih rendah daripada baterai silikon produk tunggal, dan mudah untuk diproduksi secara massal, tetapi karena kadmium sangat beracun, itu akan menyebabkan pencemaran serius terhadap lingkungan, oleh karena itu, ini bukan pengganti yang paling ideal untuk sel surya silikon kristal. Senyawa Gallium arsenide III-V dan baterai film tipis tembaga indium selenide telah mendapat perhatian luas karena efisiensi konversinya yang tinggi.